用途：
Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant
特點：
綠色制造、全新系列干式真空泵
體積小、耗功低、大幅度降低成本
用于中度嚴(yán)苛制程的節(jié)能泵
產(chǎn)品樣本和技術(shù)手冊
（下載附件文檔）
0574-86119919
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特點：
綠色制造、全新系列干式真空泵
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用于中度嚴(yán)苛制程的節(jié)能泵
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浙公網(wǎng)安備33020602001261